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Introducción a la Fabricación de Circuitos Integrados
Escuela de Ingeniería Electrónica
Instituto Tecnológico de Costa Rica
Laboratorio de Elementos Activos
Introducción a la fabricación de
Circuitos Integrados
Dr. Pablo Alvarado
Adaptado de:
Moreira, Paulo “Introduction to VLSI digital design” CERN, Suiza, 2005
Cartago, Costa Rica
Octubre, 2006
Pablo Alvarado
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Introducción a la Fabricación de Circuitos Integrados
Contenido
Historia
Proceso de Fabricación
Magic
IETIX
Resumen
Pablo Alvarado
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Introducción a la Fabricación de Circuitos Integrados
Historia
1883 Thomas Edison (“Efecto Edison”)
Experimentando con bombillos, Edison encontró que en el
vacío una corriente puede fluir del filamento luminoso a una
placa de metal polarizada positivamente pero no a una
polarizada negativamente
Audion (Triodo)
1906, Lee De Forest
1904 John Ambrose Fleming (“Diodo Fleming”)
Reconoce impacto del descubrimiento de Edison, y
demuestra la rectificación de señales CA.
1906 Lee de Forest (“Triodo”)
Añade una rejilla al diodo de Fleming lo que permite
“amplificar” señales.
Los tubos al vacío continúan su evolución
Dominan industria de radio y TV hasta los 60s, y representan
la “génesis” de la industria electrónica actual. Son sin
embargo frágiles, relativamente grandes, consumen mucha
potencia y tienen altos costos de producción.
Pablo Alvarado
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Introducción a la Fabricación de Circuitos Integrados
Historia (2)
1940 Russel Ohl (Union PN junction)
La union PN es desarrollada en los Laboratorios Bell.
1945 Labs. Bell establece grupo para desarrollar alternativa
de tubos al vacío. El grupo lo lidera William Shockley.
Primer transistor de contacto
puntual (germanio)
1947, John Bardeen y Walter
Brattain
Laboratorios Bell
1947 Bardeen and Brattain (Transistor)
Se crea el primer circuito amplificador de estado sólido
utilizando un transistor de contacto puntual (Ge)
1950 William Shockley (Transistor de juntura)
Más fácil de producir que el transistor de contacto puntual.
1952 fabricación de silicio monocristalino
1954 primer transistor comercial de silicio
Texas Instruments
1954 Primer radio de transistores (Regency TR-1)
4 transistores de Texas Instruments
1955 Primer transistor de efecto de campo
Laboratorios Bell
Pablo Alvarado
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Introducción a la Fabricación de Circuitos Integrados
Historia (3)
1952 Geoffrey W. A. Dummer (concepto de CI)
En 1952 se publicó el concepto y en 1956 se hizo un intento
1954 Desarrollo de proceso de enmascaramiento del óxido
Proceso incluye oxidación, foto-enmascaramiento, corrosión
y difusión
Primer circuito integrado (Ge)
1958 Jack S. Kilby,
Texas Instruments
5 componentes entre
transistores, resistencias y
condensadores
1958 Jack Kilby (Circuito Integrado)
Oscilador con 5 componentes
1959 Invento de tecnología planar
Esta tecnología se usa aún en la actualidad
1960 Primer MOSFET fabricado
En los Labs. Bell, por Kahng
1961 Primer Circuito Integrado comercial
Fairchild and Texas Instruments
1962 Invento de TTL
1963 Primer Circuito Integrado PMOS producido por RCA
1963 CMOS inventado
Pablo Alvarado
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Introducción a la Fabricación de Circuitos Integrados
Historia (4)
1971 Primer microprocesador
Intel produce el 4004 (primer
microprocesador de 4 bits)
Conjunto de 3 chips encapsulados en DIP de
16 pines
Circuito Integrado de 2 kbit ROM
Circuito Integrado de 320 bit RAM
Procesador:
Proceso PMOS de compuertas en Si, 10 µm
~2300 transistores
Velocidad de reloj: 108 kHz
Tamaño del dado de silicio: 13,5 mm2
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Introducción a la Fabricación de Circuitos Integrados
Historia (5)
1982 Intel 80286
Proceso CMOS de compuertas en Si, 1,5 µm
1 capa de polisilicio
2 capas metalicas
134 000 transistores
Velocidad de reloj 6 a 12 MHz
Tamaño del dado 68,7 mm2
Pablo Alvarado
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Introducción a la Fabricación de Circuitos Integrados
Historia (6)
2000 Pentium 4
Proceso CMOS de compuertas en Si, 0,18µm
1 capa de polisilicio
6 capas metálicas
Fabricación: 21 capas / máscaras
42 millones de transistores
Reloj: 1,400 to 1,500 MHz
Tamaño del dado: 224 mm2
Pablo Alvarado
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Introducción a la Fabricación de Circuitos Integrados
Historia (7)
Historia de los microprocesadores de Intel
(Tomado de http://www.intel.com/pressroom/kits/quickreffam.htm)
Año
Chip
1971
4004
1974
8080
1976
8088
1982
80286
1985
80386
1989
80486
1993
Pentium
1995 Pentium Pro
1999
Mobile PII
2000
Pentium 4
2002 Pentium 4 (N)
2005 Pentium 4 (EE)
L
Transistores
10µm
2,3k
6µm
6k
3µm
29k
1,5µm
134k
1,5µm
275k
0,8µm
1,2M
0,8µm
3,1M
0,6µm
15,5M
0,25µm
27,4M
0,18µm
42M
0,13µm
55M
90nm
169M
Pablo Alvarado
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Introducción a la Fabricación de Circuitos Integrados
Ley de Moore
En 1965 Gordon Moore
(entonces en Fairchild Corp.)
notó que:
¿Qué motiva este ritmo de
desarrollo en tecnologías de
integración?
“La complejidad de
integración se duplica cada
3 años”
¿El deseo de superación y
motivación de las personas
involucradas con tecnología?
Esta afirmación se conoce
comúnmente como la “Ley
de Moore”
y / o ¿es una motivación
económica la mayor
directriz?
Ha resultado “correcta”
hasta este momento
Ventas de la industria de
semiconductores:
1962, > $1000 Millones
1978, > $10 000 Millones
1994, > $100 000 Millones
Pablo Alvarado
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Introducción a la Fabricación de Circuitos Integrados
Motivador: Economía
Tradicionalmente, el costo por función en un CI se
reduce de un 25% a un 30% por año.
– Esto le permite al mercado de la electrónica a crecer
un 15% por año
Para lograrlo, el número de funciones por CI debe
crecer, lo que requiere:
Incremento del número de transistores
incremento de la funcionalidad
Incremento de la velocidad de reloj
más operaciones por unidad de tiempo = incremento de la
funcionalidad
Disminución del tamaño de características
si se mantiene el área se mantiene el precio
mejora en el desempeño
Pablo Alvarado
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Introducción a la Fabricación de Circuitos Integrados
Motivador: Economía (2)
Incremento de la productividad
Incremento del desempeño del maquinaria de producción
Incremento en la producción (yield)
Incremento en el número de chips en una oblea de silicio (wafer):
reducción del área de un chip:
−
menor tamaño de características smaller y rediseño
Uso del mayor tamaño de oblea disponible
Ejemplo de un producto efectivo en costo
(tipicamente DRAM): el área en el CI se reduce en
un 50% cada 3 años y en un 35% cada 6 años.
Pablo Alvarado
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Introducción a la Fabricación de Circuitos Integrados
¿Hay un límite?
Fábrica con gran volumen de producción
Capacidad total: 40 000 obleas iniciadas por mes (Wafer Starts Per
Month, WSPM) (180 nm)
Inversión total capital: $2700 Millones
Maquinaria y equipo de producción: 80%
Servicios, Facilidades: 15%
Sistemas de manejo de materiales: 3%
Información y control de fábrica: 2%
Ingresos mundiales del mercado mundial de semiconductores en
el 2000: ~$180 000 Millones
Tasa de crecimiento del mercado de semiconductores ~15% / año
Tasa de crecimiento de mercado de equipo: ~19.4% / año
Al 2010 los costos para equipo excederán el 30% de los ingresos del
mercado de semiconductores!
Limitaciones tecnológicas (tamaño de las estructuras,
velocidades de transmisión, etc.)
Pablo Alvarado
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Introducción a la Fabricación de Circuitos Integrados
Fabricación de un
Circuito Integrado
Pablo Alvarado
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Inversor CMOS
A
VDD
Y
0
1
A
A
Paulo Moreira
Y
Y
GND
Introduction
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Transistor n-MOS
• 4 terminales: compuerta, surtidor, drenador
y sustrato
• Compuerta – oxido – sustrato conforman un
condensador
– Compuerta y sustrato son conductores
– SiO2 (oxido) es un excelente aislador
– Se denomina condensador MOS, aún cuando la compuerta
no es metálica
Source
Gate
Drain
Polysilicon
SiO 2
n+
n+
p
Paulo Moreira
Introduction
bulk Si
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Transistor p-MOS
• Similar, pero dopado y tensiones invertidas
– Sustrato conectado a VDD
– Compuerta en bajo: transistor encendido
– Compuerta en alto: transistor apagado
– Círculo en la compuerta denota comportamiento
invertido
Polysilicon
Source
Gate
Drain
SiO 2
p+
p+
n
Paulo Moreira
Introduction
bulk Si
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Sección transversal del inversor
• Usualmente se utiliza un sustrato de tipo p
para los transistores n-MOS
• Se requiere un „pozo“ n para los
transistores tipo p-MOS
A
GND
VDD
Y
SiO 2
n+ diffusion
n+
n+
p+
n well
p substrate
nMOS transistor
Paulo Moreira
p+
p+ diffusion
polysilicon
metal1
pMOS transistor
Introduction
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Conección a pozos y sustratos
• Sustrato debe ser conectado a GND y pozo n a VDD
• La conexión entre metal y un semiconductor
levemente dopado forma una conexión eléctrica
deficiente (en realidad, un diodo Shottky).
• Se utiliza entonces para la conexión contactos
fuertemente dopados
A
GND
p+
n+
n+
p+
p+
n+
n well
p substrate
substrate tap
Paulo Moreira
VDD
Y
well tap
Introduction
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Máscaras del inversor
• Transistores y conecciones se definen a través de
máscaras
• La sección transversal se tomó en la línea punteada
A
Y
GND
VDD
nMOS transistor
pMOS transistor
well tap
substrate tap
Paulo Moreira
Introduction
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Vistas detalladas de las máscaras
• Seis máscaras
– n-well
– Polysilicon
– n+ diffusion
– p+ diffusion
– Contact
– Metal
n well
Polysilicon
n+ Diffusion
p+ Diffusion
Contact
Metal
Paulo Moreira
Introduction
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Pasos de fabricación
• Inicio con una oblea „en blanco“
• Construir inversor de abajo hacia arriba
• Primer paso: formar el pozo n (n-well)
– Cubrir la oblea con una capa protectora de óxido de silicio
(SiO2)
– Eliminar capa en el sitio donde debe construirse el pozo n
– Implantar o difundir dopantes n en la oblea expuesta
– Eliminar SiO2
p substrate
Paulo Moreira
Introduction
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Oxidación
• Producir SiO2 en la parte superior de la oblea
– 900°C – 1200°C con H2O o O2 en horno de oxidación
SiO 2
p substrate
Paulo Moreira
Introduction
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Photoresist
• El Photoresist es un polímero orgánico sensitivo a la
luz.
• Se suaviza en los sitios expuestos a la luz
Photoresist
SiO 2
p substrate
Paulo Moreira
Introduction
24
Litografía
• Exponer photoresist a través de la máscara del pozo
n
• Eliminar photoresist expuesto
Photoresist
SiO 2
p substrate
Paulo Moreira
Introduction
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Decapado (etch)
• Decapar el óxido con ácido hidrofluórico (HF)
• Solo solo se ataca al óxido donde el resist ha sido
expuesto
Photoresist
SiO 2
p substrate
Paulo Moreira
Introduction
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Eliminar Photoresist
• Eliminar el fotoresist remanente
– Se utiliza una mezcla de ácidos denominado “decapado
piraña”
• Esto es necesiario para que el resist no se deshaga
en los próximos pasos
SiO 2
p substrate
Paulo Moreira
Introduction
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Pozo n (n-well)
• Pozo n se forma por difusión o por implantación de
iones
• Difusion
– Colocar la oblea en horno con arsénico gaseoso
– Calentar hasta que los átomos de As se difunden
en el Si expuesto
• Implantación de iones
– Se dispara a la oblea con un rayo de iones de As
– Los iones bloqueados por el SiO2, solo entran al Si
expuesto
SiO 2
n well
Paulo Moreira
Introduction
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Eliminar óxido
• Eliminar óxido remanente utilizando HF (ácido
hidrofluórico)
• Estamos de vuela con una oblea „en blanco“ con un
pozo n
• Los pasos siguientes involucran pasos similares
n well
p substrate
Paulo Moreira
Introduction
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Polisilicio
• Depositar capa delgada de óxido para compuertas
– < 20 Å (6-7 capas atómicas)
• Deposición química de vapor (Chemical Vapor
Deposition, CVD) de una capa de silicio
– Colocar oblea en horno con gas silano (SiH4)
– Forma muchos cristales pequeños denominados polisilicio
– Fuertemente dopado para que sea buen conductor
Polysilicon
Thin gate oxide
n well
p substrate
Paulo Moreira
Introduction
30
Conformación del Polisilicio
• Usa mismo proceso litográfico anterior para dar
forma al polisilicio
Polysilicon
Polysilicon
Thin gate oxide
n well
p substrate
Paulo Moreira
Introduction
31
Proceso autoalineado
• Utilizar óxido y máscaras para exponer los sitios
donde los dopantes n+ deberán ser difundidos o
implantados
• La difusión n forma la fuente y drenador del
transistor n-MOS y el contacto con el pozo n
n well
p substrate
Paulo Moreira
Introduction
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Difusión n
• Dar forma al óxido y conformar las regiones n+
• Proceso auto-alineado donde la compuerta bloquea
la difusión
• Polisilicion es mejor que el metal para las
compuertas autoalineadas porque no se deshace en
procesos posteriores
n+ Diffusion
n well
p substrate
Paulo Moreira
Introduction
33
Difusión n (2)
• Históricamente los dopantes eran difundidos
• En la actualidad se usa implantación de iones
• A pesar de eso a las regiones se les denomina
„difusión“
n+
n+
n+
n well
p substrate
Paulo Moreira
Introduction
34
Difusión n (3)
• Eliminar óxido para terminar la conformación.
n+
n+
n+
n well
p substrate
Paulo Moreira
Introduction
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Difusión P
• Serie similar de pasos se utiliza para conformar las
regiones de difusión p+, usadas en fuente y
drenador del transistor p-MOS y en el contacto del
sustrato
p+ Diffusion
p+
n+
n+
p+
n+
n well
p substrate
Paulo Moreira
p+
Introduction
36
Contactos
• Ahora deben interconectarse los dispositivos
• Se cubre al chip con una capa gruesa de óxido
• Se decapa el óxido donde los cortes para contactos
se requieran
Contact
Thick field oxide
p+
n+
n+
p+
n+
n well
p substrate
Paulo Moreira
p+
Introduction
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Metalización
• Depositar aluminio sobre toda la oblea
• Conformar para remover exceso de metal, dejando
solo las conexiones
Metal
Metal
Thick field oxide
p+
n+
n+
p+
n+
n well
p substrate
Paulo Moreira
p+
Introduction
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Layout
• Chips se especifican con un conjunto de máscaras
• Las dimensiones mínimas de las máscaras
determinan el tamaño del transitor (e
indirectamente velocidad, costo y potencia)
• Tamaño característico f = distancia entre drenador
y surtidor
– Dado por el ancho mínimo del polisilicio
• Tamaño característico se mejora un 30% cada 3
años aproximadamente
Paulo Moreira
Introduction
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Reglas de diseño simplificadas
• Reglas conservadoras para iniciar
Paulo Moreira
Introduction
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Introducción a la Fabricación de Circuitos Integrados
Niveles de abstracción
en el Diseño VLSI
High
Alto
System Specification
Especificación
del sistema
of Abstraction
NivelLevel
de Abstracción
Sistema
System
Módulo
funcional
Functional
Module
+
Compuerta
Gate
Circuito
Circuit
Dispositivo
Device
G
S
D
Low
Bajo
Pablo Alvarado
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Introducción a la Fabricación de Circuitos Integrados
Dominios de Descripción
de Diseño VLSI
Dominio Estructural
Dominio Comportamental
Aplicaciones
Sistemas Operativos
Programas
Procesador RISC
Sumadores, compuertas, registros
Subrutinas
Transistores
Instrucciones
circuital
Transistores
Celdas
Módulos
Chips
Tarjetas
RTL, lógico
arquitectural
Niveles de abstracción
Dominio Físico
Pablo Alvarado
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Introducción a la Fabricación de Circuitos Integrados
El flujo de diseño “analógico”
Especificación
●
Velocidad
●
Potencia
●
Ancho de Banda
●
Área ...
Front end
Simulación
del
Pre-layout
Ingreso del
Diseño
Crear esquemático
●
Dimensionamiento de dispositivos
●
Simulación del
circuito
●
●
Rediseño
Layout
Distribución
●
Ubicación
●
Enrutamiento
●
Back end
Pablo Alvarado
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Introducción a la Fabricación de Circuitos Integrados
Flujo de diseño (2)
Extracción del
Diseño
Verificación
Comprobación
de reglas de
diseño
●
Comprobación
de reglas
eléctricas
Extracción
●
Layout vs
Esquemático
●
Extracción de
Elementos
Parásitos
Extracción de
elementos
parásitos
●
●
Front end
Simulación del
Post-layout
Simulación del
circuito
●
Rediseño
●
Back end
Pablo Alvarado
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Introducción a la Fabricación de Circuitos Integrados
Referencias
Moreira, Paulo “Introduction to VLSI digital design” CERN, Suiza, 2005
●
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