Hexafluoruro de wolframio

El fluoruro de wolframio(VI), también conocido como hexafluoruro de wolframio, es un compuesto inorgánico de wolframio y flúor de fórmula WF6. Es un compuesto corrosivo, en condiciones estándar es un gas incoloro con una densidad aproximada de 12.6 g/L (unas 11 veces más denso que el aire.), el WF6 es uno de los gases conocidos más pesados bajo condiciones estándar. El WF6 se emplea habitualmante en la producción de circuitos de semiconductores y placas de circuito a través del proceso de deposición química de vapor – después su descomposición, las moléculas de WF6 dejar un residuo de wolframio metálico. Esta capa sirve para disminuir la resistencia metálica de ""interconexión"".