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Reflectancia Modulada (Espectroscopía de modulación) 1. Esbozo histórico 2. Discusión cualitativa. 3. Principios físicos. 4. Aplicaciones experimentales. Esbozo histórico • • • • • • • • • H eE r 1. Un campo eléctrico constante: Bloch (1928): Tratamiento cuántico aproximado. Zener (1934): Tunelamiento. Houston (1940): Psi muy precisa para e- Xtal, en presencia de E. 2. Keldysh y Franz (1958): Trabajos independientes E Props. Ópticas. 3. R. Williams (1960), T.S. Moss (1961), K.W. Boer (1959): Primeras observaciones experimentales. 4. B.O. Seraphin (1965): Información bandas de energía. 5. M. Cardona (1967): Estudio sistemático semiconductores. 6. D.E. Aspnes (1972): Expresión analítica de ER. Fred Pollak es especialista en espectroscopía de Modulación desde 1966. Ha vendido sus ideas y equipos. Más de 20 sistemas de PR/CER han Sido instalados en las industrias de Semiconductores por su compañia, SCI, Inc Ying-Sheng Huang Discusion cualitativa Consideremos un electron libre: p 2 2k 2 H0 2m 2m H0 H0 ? k 2 pluz Eluz k Eie Eluz E fe kie 2 k fe Entonces: Un electron libre no puede absorber fotones. 1 i 2 2 0 Pongamos el electron en un Xtal: p2 H0 V (r ) 2m E E k Ahora sí es posible la absorción de un fotón! k Ecuaciones de Maxwell en el vacío: E 4, , 1 B E , c t 4 1 E B J , c c t B 0, Ecuaciones de Maxwell en un medio dieléctrico: D , B 0, D E 1 B E , c t 1 D H , c t 0 (E) B 0 H D E Respuesta del medio expuesto a la luz 0 (E) B 0 H La respuesta depende de: polarizabilidad de la red, electrones, generación de portadores, Presencia de excitones, campos eléctricos, presión, impurezas, dislocaciones, Etc. La función dieléctrica: esbozo cuantitativo Campo e&m clásico Tratamiento semiclásico: 1 A E c t B A 2 c H v p i ik .r c uc ,k r e ik .r v uv ,k r e p2 H0 V (r ) 2m e H H0 A p mc 2 Interacción fotón-electrón de Bloch e c A p v mc 2 c A p v e– de Bloch dentro del semiconductor Involucra integración sobre el espacio 2 1 1 eˆ Pcv (k ) E ( k ) E i E ( k ) E i k ,c ,v cv cv 4 e 2 2 ( E , ) 1 2 2 mE 2 Pcv (k ) ck p vk Ecv (k ) Ec (k ) Ev (k ) e2 2 ( E , ) 1 2 2 2 mE 1 1 BZd k eˆ Pcv (k ) Ecv (k ) E i Ecv (k ) E i 2 3 eˆ Pcv (k ) e 2 2 1 1 ( E , ) 1 2 2 2 dE dk1dk 2 m E E ( k ) E ( k ) E i E ( k ) E i cv cv cv s 2 k Ecv (k ) 0 1 cv 2 cv cv 2 cv cv 2 Ecv (k ) Ecv (k ) k x k jx / xx k y k jy / yy k z k jz / zzcv 2 cv j 1 cv 2 cv cv 2 cv cv 2 Ecv (k ) Ecv (k ) k x k jx / xx k y k jy / yy k z k jz / zzcv 2 cv j cv1 (k ) (1 2 ) k k Ecv (k ) e / eˆ Pcv ( E , ) 2m2 E 2 2 2 2 d 3k Ecv (k ) E i 1 2 2 Ecv (k ) E g (k x / xx k y2 / yy k z2 / zz ) 2 Q l 1 1 2 D K K i ( E E i ) 1D g E2 x y z Q ( E , ) 2 Dx K y K z i l 2 ln( E g E i) 2 D E 2 Q l 1 12 D K K i ( E E i ) 3D g E 2 x y z e 2 2 2 Q e Pcv 2 ˆ m Di 2 ii / 2 12 , i x, y, z n n i E, A e E Eg i Una perturbación homogenea: compresión hidrostática 2 h (eV ) Eg Eg + Δ 2 h (eV ) HV Una perturbación inhomogénea: Un campo eléctrico. Aún siendo constante, la energía agregada es lineal con la posición. H eE r el electrón se acelera : dp eE m k0 ( )t dt m La electrorreflectancia Tiene dos procesos: 1. Transiciones interbanda 2. Transiciones intrabanda Fs 2e N D N A VBi VA / 0 1/ 2 F x Electroreflectance Photoreflectance Campo eléctrico F ωcv(k + Δk) e 2 2 2 Q e Pcv 2 ˆ m Di 2 ii / 2 12 , i x, y, z n n i E, A e E Eg i ie 2 2 (E) 2 2 2 mE 3 d k eˆ Pcv (k ) BZ 2 dt exp i k texp t cv 0 dk / dt eF i cv k (t ) it i dt cv k eFt / i t 2 ' t 2 ' ie 2 3 E , F 2 2 2 mE 1 3 3 BZd k eˆ Pcv k 0 dt exp i cv k i t i 3 t 3 2 3 1 e 2 F k 2 cv k 1 3 8 4 1 1 exp i 3t 3 1 i 3t 3 3 3 e2 2 2 3 3 2 2 2 d k eˆ Pcv k k t 3 dt exp i cv k i t 0 3 m 3 3 2 / e 2 F 2 2 / 8 3 3 e 2 2 1 3 3 2 1 E E 2 E 2 E 3 3 E 24 E E 1 3 Umbral de absorción: Eg Io I=Ioe-W hg hg W hg Eg: parámetro más importante de un semiconductor ND Modulación (ER) de excitones con interferencia Transiciones de fase Eg Electrorreflectancia (ER) Fotorreflectancia (PR) Defectos polarizables Por ejemplo: Hexagonal cúbica Límite campo bajo (ER&PR) Tensiones entre capas Eg,,X Oscilaciones de Franz-Keldysh (ER&PR) AlxGa1-xAs InxGa1-xAs F Eg Confinamiento Cuántico Minibandas de energía Superredes Pozos cuánticos Interferencia de una película delgada SiO2 Substrato de Si Aplicación número 1: Exciton quenching ND Ecuación de Poisson : r 2 d 2 qN D ,0 xw 2 dx d x w 0 C .F . dx qN D d x w dx qN D x w F x es el campo eléctrico x W x F(x) Fmax qN D W 0, qN D x W W Fmax W Vbi 2 qN D 2 W 2 Bi VA W qN D 2 W 2 Vbi-VA W W VA VA W X Puede acontecer que haya excitones a partir de cierta profundidad Xc F Fcrítico excitones 1 Sup : F crítico 1 F Fcrítico excitones 2 2 excitones qN D W1 X 1 qN FC D W2 X 2 W1 X 1 W2 X 2 FC 0 Xc W X F(x) Aplicación de voltaje aumento de la región sin excitones interferencias Fcrít Sintonizando el monocromador en λ, (pico excitónico), aplico voltaje directo VA1 obteniendo máximo. Luego gradualmente aumento voltaje para obtener otro máximo. Xc1 Xc2 W1 W2 x x1 x2 y entonces : V A1 VA 2 qN D bi VA1 bi VA2 2n 2 1 n 2 Índice de refracción 82K 5 qN D bi VA1 bi VA 2 2n 2 0.0 -5 0.5 1.0 1.5 VA 2a Aplicación: Efectos de daño y calidad del sustrato 300K 1100°C/10s 1000°C/10s 1.43 1.48 1.53 (eV ) 3. Determinación de la concentración de portadores aún con ionización de excitones despreciable. Oscilaciones de F-K R 32 2 cos Eg / d 1 / 2 R 3 e F / 8|| 2 2 2 13 Graficamos R vs ( E g )3 / 2 R Para varios Va Fs 2e N D VBi VA / 0 1/ 2 F Fs 2 2e N D VA 0 4. Contenido de As en InP:As 5. Estructuras de confinamiento cuántico Superred 20 nm AlGaAs/10 nm GaAs 6. Band gap of GaAs1-xBix me mHH mLH k me k mHH mLH