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Modelo: ElectriAll-In-One
Las sondas “Todo-En-Uno” ofrecen
cuatro cantilevers con geometría
diferente para cada régimen topográfico de medición: modo de contacto,
modulación de fuerza, contacto
intermitente suave y contacto intermitente. Las frecuencias de resonancia y
los coeficientes de elasticidad son
semejantes a las de los modelos
conocidos Contact, Multi75, Tap150 y
Tap300.
• Varios modos de medición
• Sonda rotada monolítica de silicio
- Forma simétrica de la punta
- Tamaño del chip: 3.4 x 1.6 x 0.3 mm
• Recubrimiento: Recubrimiento conductor de electricidad de 5 nm de cromo
y 25 nm de platino de los dos lados del cantilever.
• Esta sonda utiliza puntas con una inclinación hacia la dirección de la
medición para obtener una imagen más simétrica de las estructuras de más
de 200 nm
Anchura
Longitud
A B
Los cantilevers largos – A para modo de
contacto y B para modulación de fuerza
están colocados en un lado del chip, y
los cantilevers cortos – C para modo de
contacto intermitente suave y D para
modo de contacto intermitente
quedan en el lado opuesto. El lado con
los cantilevers cortos está marcado con
un trapecio visible a ojo desnudo.
2.7
D
Aplicación
Recubrimiento:Recubrimiento conductor de electricidad de 5 nm de cromo y
25 nm de platino de los dos lados del
cantilever. Este recubrimiento aumenta
también la reflexidad del láser del
cantilever.
C
Cantilever A
Cantilever B
Cantilever C
Cantilever D
Modo de Contacto
Modulación de Fuerza
Contacto Intermitente
Suave
Contacto Intermitente
Valores
habituales
Banda
Valores
habituales
Banda
Valores
habituales
Banda
Valores
habituales
Banda
Frecuencia
Resonante
15 kHz
+/-5 kHz
80 kHz
+/-30 kHz
150 kHz
+/-80 kHz
350 kHz
+/-150 kHz
Constante de Fuerza
0.2 N/m
0.04 - 0.7 N/m
2.7 N/m
0.4 - 10 N/m
7.4 N/m
1 - 29 N/m
40 N/m
7 - 160 N/m
Frecuencia Resonante
e Constante de Fuerza
semejantes a
Longitud
Contact
Multi75
500 μm
+/-10 μm
Anchura
30 μm
Espesor
2.7 μm
Altura de la Punta
Deflexión de la punta
Tap150-G
210 μm
+/-10 μm
150 μm
+/-10 μm
+/-5 μm
30 μm
+/-1 μm
2.7 μm
+/-5 μm
30 μm
+/-1 μm
2.7 μm
17 μm
+/-2 μm
17 μm
+/-2 μm
15 μm
+/-5 μm
15 μm
+/-5 μm
Tap300
100 μm
+/-10 μm
+/-5 μm
50 μm
+/-5 μm
+/-1 μm
2.7 μm
+/-1 μm
17 μm
+/-2 μm
17 μm
+/-2 μm
15 μm
+/-5 μm
15 μm
+/-5 μm
Radio de la Punta
< 25 nm
Recubrimiento
Cromo / Platino
Ángulo del medio cono
20°-25° del eje del cantilever, 25°-30° de ambos lados, 10° de la punta
Resistencia en contacto
300 Ohm a la superficie de la capa fina de Pt
Código del Artículo
Sondas
Recubrimiento
Precio
AIOE-10
10 pieces
Cromo / Platino
$240
AIOE-50
50 pieces
Cromo / Platino
$1000
www.budgetsensors.com